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NSR2005i11D光刻機
詳細描述
NSR2005i11D主要用于CD線寬不超過0.35μm器件的生產(chǎn)。
主要技術(shù)指標
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分辨率 |
0.35μm |
Resolution |
0.35μm |
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N.A. |
0.57 |
N.A. |
0.57 |
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曝光光源 |
365nm |
Exposure light source |
365nm |
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倍率 |
1:5 |
Magnification |
1:5 |
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最大曝光市場 |
22mmX22mm |
Maximum Exposure area |
22mmX22mm |
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對準精度 |
70nm |
Alignment accuracy |
70nm |
提供5”、5”、6”、8”、設備改造。
常年提供所有備件、耗材。
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